ja liikkuvat puolijohdekiukkat eri paikkojen välillä. Se on pohjimmiltaan robottinen käsi, joten sen lämpö- ja ulotteinen stabiilius on tärkeä, ja se ei sisällä kammiota hiukkasilla tai kemiallisilla epäpuhtauksilla./:
Se pystyy käsittelemään suuria kiekkoja ja ty...
Käyttäjän kirjautuminen
