Koneistusmenetelmä, jonka työstötarkkuus on enintään 1 μM. Tarkkuustyöstö toteutetaan tarkkuuskonetyökaluilla, mittausvälineillä ja mittarilla ympäristöolosuhteiden tiukassa valvonnassa. Sitä kutsutaan erittäin tarkkoksi työstöksi, kun työstötarkkuus saavuttaa tai ylittää 0,1 μM.

Tarkkuustyöstön teknologinen vaikutus on seuraava:

Geometrisen muodon tarkkuus ja osien keskinäinen sijainti voivat saavuttaa mikronin tai kulman sekunnin;

Osan raja- tai ominaisuusmittatoleranssi on mikrometrin alapuolella;

Osien pinnan mikrotason epätasaisuus (pinnan epätasaisuuden keskimääräinen korkeusero) on alle 0,1 μm;

Keskinäiset varusteet voivat täyttää voiman yhdistämisen vaatimukset;

Jotkut osat voivat myös täyttää tarkkojen mekaanisten tai muiden fysikaalisten ominaisuuksien vaatimukset;